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수자원공사, 반도체 '초순수' 국산화 마중물 역할 맡는다

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수자원공사, 반도체 '초순수' 국산화 마중물 역할 맡는다

2025년까지 일 2400t 초순수 생산해 반도체업체에 공급 "최대 60% 국산화"
초순수 시장, 2025년 68조 규모 성장...정부, 480억 투자해 국산화 추진

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대전시 유성구에 있는 한국수자원공사의 일 25t 생산규모의 초순수 실증플랜트 모습. 사진=한국수자원공사
한국수자원공사가 반도체 산업의 기반이 되는 '초순수(超純水)' 생산기술을 오는 2025년까지 설계는 100%, 시공은 60% 국산화하겠다는 정부의 목표를 달성하기 위해 주도적인 역할을 맡는다.

수자원공사는 오는 2025년까지 일 2400t의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 실제 반도체 생산업체에 설치, 반도체 생산에 쓰이는 초순수 공정의 최대 60%를 국산화하기로 했다.

이를 위해 수자원공사는 환경부·한국환경산업기술원 등과 함께 '고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발' 사업에 착수하고, R&D 등을 종합한 'K-반도체 초순수 플랫폼'을 구축한다는 방침이다.

이 사업에는 정부출연금 300억 원을 포함해 총 480억 원의 사업비가 투입된다.

초순수는 수백개의 반도체생산 단위공정 중에 나오는 부산물·오염물 등을 세정할 때 쓰이는 필수 공업용수로, 초미세회로로 구성된 반도체를 세척해야 하기 때문에 이온·유기물 등 불순물이 거의 없는 고순도를 유지해야 한다.

반도체는 공업용수 사용량이 많은 산업으로, 6인치 웨이퍼 한 장당 1.5t의 초순수가 사용된다. 반면 초순수는 약 30개의 복잡한 공정을 거쳐 생산되는 공업용수로, 수돗물 10t으로 생산할 수 있는 초순수는 5t 정도이다.

초순수 분야 세계 1위는 일본으로, 우리나라는 반도체 사용용수의 약 50%를 차지하는 초순수를 일본 등에 의존해 왔으나, 지난 2019년 일본의 수출규제에 대응하기 위한 조치 중 하나로 초순수 국산화를 추진하기 시작했다.

지난 2011년부터 자체적으로 초순수 기술을 개발해 온 수자원공사는 정부 차원의 소부장(소재·부품·장비) 국산화와 'K-반도체' 전략에 따라 초순수 국산화에 박차를 가한다는 방침이다.

수자원공사는 국내 연구기관·민간기업과 협력해 ▲초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 ▲초저농도 용존산소 제거용 탈기막 ▲고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합 ▲고순도 공업용수 공정과 수질 성능평가 ▲반도체 폐수를 이용한 고순도 공업용 원수 확보 등 5개의 세부과제별 기술개발을 2025년까지 추진한다.

현재 수자원공사는 실증플랜트 구축을 위해 수요처와 협의 중이며, 구축·활용계획을 검토해 올해 안에 실증플랜트를 설치할 대상지를 확정할 계획이다.

이밖에 수자원공사는 현재 초순수 기술을 개발하고 있으나 테스트베드, 성능인증시설 등이 부족해 상용화와 판로개척에 어려움을 겪는 국내 중소기업을 위해 기술자립과 시장개척을 지원한다는 방침이다.

업계에 따르면 초순수는 반도체 외에 LCD, 태양광패널, 바이오 등의 분야에서도 활용도가 높으며, 세계 초순수 시장규모는 2010년 28조 원에서 2025년 68조 원 규모로 성장할 것으로 전망된다.

박재현 수자원공사 사장은 "수자원공사가 보유한 물분야 전문성과 인프라를 바탕으로 초순수 생산·공급 국산화를 적기에 완수해 우리나라의 K-반도체 전략을 지원하겠다"고 말했다.


김철훈 글로벌이코노믹 기자 kch0054@g-enews.com