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삼성전자, 업계 최초 D램에 EUV 적용…고객사에 모듈 100만개 공급

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삼성전자, 업계 최초 D램에 EUV 적용…고객사에 모듈 100만개 공급

1세대 10나노급(1x) EUV D램 양산으로 업계 유일 양산체제 구축
내년부터 DDR4/LPDDR4X 시장을 DDR5/LPDDR5로 본격 전환

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삼성전자 DS부문 화성사업장. 사진=삼성전자 제공
삼성전자가 업계 최초로 D램에 극자외선(EUV) 공정을 적용해 양산 체제를 갖췄다.

삼성전자는 EUV 공정을 적용해 생산한 1세대(1x) 10나노급(1나노 : 10억분의 1미터) DDR4(Double Data Rate 4) D램 모듈 100만개 이상을 공급하고 전 세계 고객의 평가를 끝냈다고 25일 밝혔다.

이에 따라 성전자는 메모리 업계 최초로 차세대 D램 제품부터 'EUV 공정'을 전면 적용해 반도체 미세공정 한계를 돌파할 채비를 갖추고 D램의 새로운 패러다임을 제시했다.

EUV 노광 기술을 적용하면 회로를 새기는 작업을 반복하는 멀티 패터닝(Multi-Patterning) 공정을 줄여 정확도를 높일 수 있다. 이를 통해 제품 성능과 수율을 향상하고 제품 개발 기간을 단축할 수 있는 장점이 있다.
삼성전자는 현재 EUV 공정으로 14나노 초반대 '4세대 10나노급(1a) D램 양산 기술'을 개발하고 있으며 향후 차세대 제품 품질과 수율도 기존 공정 제품 이상으로 향상시킬 예정이다.

EUV를 이용해 만든 4세대 10나노급(1a) D램은 1세대 10나노급(1x) D램보다도 12인치 웨이퍼당 생산성을 2배 높여 사업 경쟁력을 더욱 강화할 수 있게 됐다.

삼성전자는 내년에 성능과 용량을 더욱 높인 4세대 10나노급(1a) D램(DDR5, LPDDR5)을 양산하고 5세대, 6세대 D램도 선행 개발해 프리미엄 메모리 시장에서 확보한 기술 리더십을 더욱 강화할 방침이다.

이정배 삼성전자 메모리사업부 DRAM개발실 부사장은 "업계 최초로 EUV 공정을 D램 양산에 적용해 글로벌 고객에게 차별화된 솔루션을 한발 앞서 제공할 수 있게 됐다"며 "내년에도 혁신적인 메모리 기술로 차세대 제품을 선행 개발해 글로벌 IT 시장이 계속 성장하는데 기여할 것"이라고 밝혔다.

한편 삼성전자는 내년부터 DDR5/LPDDR5 D램 시장이 본격 확대하는 점을 감안해 전 세계 IT 고객과 기술협력을 강화하고 업체간 다양한 표준화 활동을 추진해 차세대 시스템에서 신제품 탑재 비중을 꾸준히 늘릴 예정이다.

또한 삼성전자는 올해 하반기 평택 신규 라인을 가동해 점차 늘어나는 차세대 프리미엄 D램 수요에 안정적으로 대응할 수 있는 양산 체제를 구축할 계획이다.


오만학 글로벌이코노믹 기자 mh38@g-enews.com