;)
;)
이미지 확대보기
젤레노그라드는 모스크바 북서부에 위치한 구(지역)로, 13개 구를 관할하며 전자, 반도체, 컴퓨터 공학 관련 기업이 밀집해 있기 때문에 ‘러시아의 실리콘 밸리’로 불린다.
러시아의 모스크바 전자 기술 연구소(MIET)는 자국 무역 산업부의 자금을 사용하고 플라즈마 소스를 기반으로 하는 X선 싱크로트론 또는 리소그래피 기계 개발 계획을 추진할 것이다. 결과적으로 이 기계는 28nm, 16nm 및 더 작은 디자인의 반도체 웨이퍼를 처리할 것으로 예상된다.
서방의 제재는 러시아에 일상용품과 소비재 기술뿐만 아니라 국내산업(군수 등)에 필수적인 반도체에도 큰 부담을 주고 있다. 지난달 말 러시아 정부는 국내 반도체 생산용 기계 개발을 위해 현지 연구소에 상당한 자금을 지원하기로 했다. 러시아 정부는 또한 중국과의 긴밀한 관계를 발전시키는 방법을 고려하고 있다.
ASML은 반도체 제조용 광학 노광 공정 장치를 만드는 다국적기업이며 극자외선(EUV, Extreme Ultraviolet)노광장치를 독점 제조한다.
흥미롭게도 이 문제에 정통한 소식통은 러시아가 2010년대에 EUV 리소그래피 개발에 참여했다고 밝혔다. 러시아의 주요 과학자들은 작업을 지리적으로 고립된 상태에서 수행할 수 없다고 결정하여 일부 연구(특히 방사선 소스)를 ASML과 공유하고 지원했다.
러시아의 다른 과거 작업은 1980년대 중반 젤레노그라드에서 싱크로트론 X선 방사선원의 개발로 거슬러 올라간다. 이 기술은 분명히 미래 지향적인 과학자들이 마이크로 전자 처리 요구 사항을 위해 개발했지만 프로젝트는 어떻게든 진행되지 않았다. 모든 경험은 이제 새로 자금을 지원받은 X선 리소그래피 연구에 사용되며 장치는 2023년까지 준비될 예정이다.
X선 리소그래피 연구는 2022년 11월부터 시작된다. 그 사이 프로토타입 X선 리소그래피 기계에 대해 제안된 기술 사양과 타당성 연구가 완료될 것이다. 새로운 X선 리소그래피 기계를 사용하여 테스트 생산을 하려면 5년 이상을 기다려야 한다.
김세업 글로벌이코노믹 기자
